探针台PM300

	Cascade手动探针台，可以根据用户需求提供pA、fA(三轴)或脉冲测试的直流测试需廴求，提供40GHz～50GHz～67GHz～110GHz～1THz不同频段客户测试要求。可提供手动高电压/电流探针台，也是同类高压探针台中较具性价比的一款。可针对半导体器件进行失效分析。可根据用户需求提供从3000V/100A的需求。系统还可兼容常温~300℃的温控升级。开放性的平台，旨在满足用户多样化的测试需求。


	
		随着新兴太赫兹应用的大量扩展，如高速5G通信，卫肀星，非侵入性光谱，安全和监视，医疗和保健设备以及短程汽车雷达，对**，**和可重复测量数据的需求比以往变得更加重要。对于满足这些THz应用需求的器件，集成电路和新产品构建模块的研究和技术开发尤其如此。
	
	
		MPI TS150-THZ是**一个150 mm**探头工作站，专为mmW和THz晶圆上测量而设计，较高可达1.5 THz及以上。它提供了**的功能：无缝集成任何带状，差分或宽带频率扩展器，较高可达1.5 THz较大的机械稳定性和可重复性，以及方便和安全的操作较小化测量路径以获得较佳测量方向性，
	


	MPI TS150-THZ


	特点与优势:


	1, 空气阶段MPI空气轴承平台设计，简单的单手圆盘控制，为**XY导航和**晶圆装载提供**的操作便利性，同时不会影响**和**的定位能力，附加精细和**的25 mm x 25 mm XY-Theta千分尺运动。


	2,带探针悬浮控制?的压板提升
	
		高度可重复（1μm）的压板提升设计，带有三个离散位置，用于接触，分离（300μm）和装载（3 mm），带有安全锁实用程序，这些都是**的功能的例子。 MPI TS150-THZ手动探针系统。这些功能可防止意外的探头或晶圆损坏，易捷测试技术,探针台PM300,深圳市易捷测试技术有限公司，同时提供直观的控制，准确的接触定位和安全设置。如果mmW和sub-THz范围内的探头成本太高，这种能力尤其重要。
	
	
		3,夹头Z调整
		
			TS150-THZ具有10 mm精密卡盘Z调整，设计灵活，可集成不同的频率扩展器，如KEYSIGHT，VDI或OML。对于在同一探头系统上使用多个带状解决方案的设置非常有利 - 可以轻松**地重置。附加探头Hover Control?带有悬停高度（50,100或150μm），便于探头与垫对齐
		
	
	
		4,微型定位器的多种配置
		
			**且较其坚固的探头压板设计可容纳两个具有东西向配置的螺栓式MP80大面积微型定位器。通过将两个北和南“桥”作为标准配置，可以轻松实现四端口RF测量或DC偏置。
		
		
			5,MP80-DX 
			
				市场上另一种MPI开创性解决方案 - *特的MP80-DX，简单**的定义，低至1μm的Δl - 是**且经济*的多线TRL的理想选择 - 是mmW中一的射频校准方法和sub太赫兹范围。有关更多详细信息，请访问MPIQAlibria®软件。
			
			
				6, 各种卡盘选项
				
					TS150-THZ可提供各种卡盘选项，以满足不同的预算和应用要求，如MPI：带有BNC连接器的标准RF卡盘，
				
				
					**mmW卡盘，*采用高导热率的特殊陶瓷（> 180 W / Km），甚至ERS AirCool RF卡盘（从20°C到200°C或更高），带有集成镀金**面和小真空孔所有卡盘都有两个辅助卡盘，内置陶瓷材料，可提供**的RF校准，特别是在40 GHz以上的范围内。
				
				
					7,各种光学选项
					
						**MPI光学器件可选择单管MPI SuperZoom SZ10，立体声EyeZoom EZ10或MegaZoom MZ12，易捷测试技术,探针台PM300,深圳市易捷测试技术有限公司，较高12倍光学变焦和**过45 mm工作距离。这种显微镜的小因素是RF和mmW应用的理想选择，因为需要与DUT较短距离的频率扩展器集成所固有的空间限制。